晶圆盒清洗机

晶圆盒清洗机Foup是一种全自动式的清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以实现清洗和干燥效果。清洗+漂洗+热风进行烘干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。

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晶圆盒清洗机Foup是一种全自动式的清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以实现清洗和干燥效果。清洗+漂洗+热风进行烘干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。

富嘉达晶圆盒FOUP清洗机具体设备验收标准如下要求:
(1)要求FOUP清洗后片盒内外表面无脏污,粉尘及油污。
(2)片盒清洗过后使用100ml纯水浸润,粒径大于0.1um颗粒增量小于2000个/ml。
(3)整个清洗过程中需要全自动化,减少人工参与。
(4)以产品的不同可对应调整相应的清洗时间;最终品质标准以双方签核后的设备技术方案要求为准;
(5)清洗产品规格以技术方案资料客户提供签核资料为准;
(6)清洗节拍根据产品难易干燥程度而定,也同设定清洗干燥时间有关;

应用范围:
该设备主要用于6寸8寸12寸半导体制程的Foup、 Fosb 、 Cassette的Particle晶圆盒清洗。

序号

项 目

富嘉达晶圆盒清洗机 需 求

连接方法

连接点

   1  

设备搬入口

详见设备设计图外形尺寸等。

 

 

   2  

安放场地

室内,温度0~40,洁净环境车间

 

 

   3  

安装布置

设备周边保留至少1m的保养维护空间

 

 

   4  

主电源

35线,50Hz380V,总电功率约36Kw

(接入设备电柜的主进线需要客户负责对接)

 

电柜开关端子

   5  

压缩空气

压力0.40.6MPa400NL/min(客户自备)

φ12mm

清洗机后部或侧部

   6  

排气

大约300-500m³/H(设备设有排风口,客户实施设备到室外的排气管道施工连接)

交机前提供管φ

清洗机顶部或侧部

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